Haihdutusveneet ovat excel tyhjiöuunissa

Haihdutusvene on tyhjiöuuni materiaalin haihtumispinnoitteen ydinkomponenttien saavuttamiseksi. Sen tehtävänä on kuljettaa materiaalien haihtumista ja tehdä siitä höyrystynyt lämmityksellä, talletettu tyhjiöympäristöön ohuen kalvon muodostamiseksi. Seuraava sovelluspaikasta, materiaaliominaisuudet, tekniset kohdat ja teollisuussovellukset ja muut näkökohdat haihtumisveneen yksityiskohtaisen analyysin tyhjiöuunisovelluksissa:

Ydinsovelluspaikka

1. Ohuen kalvon laskeutuminen ja päällystevalmistus tyhjiöuuni haihtumisvenelämmityksen haihtuneiden materiaalien (metallit, seokset, yhdisteet jne.) Kautta, siten, että se on matalapaineisessa ympäristössä, höyrystyminen ja substraatin pinnan laskeutuminen, funktionaalisten ohutkalvojen muodostuminen, mukaan lukien: johtava \/ eristävä elokuva: metallielektrodit (Al, cu, AU) Kerros (SiO₂, sinₓ), käytetty sirujen valmistuksessa, piirilevyissä, MEMS -laitteissa. Optiset kalvot: läpäisevyyden parannuselokuvat (MGF₂), heijastavat kalvot (AG, AL), suodatinelokuvat (monikerroksiset dielektriset kalvot), joita käytetään optisissa linsseissä, matkapuhelinkameroilla, näytöillä. Funktionaaliset pinnoitteet: kulumiskeskeiset pinnoitteet (tina, crn), lämpöä eristäviä kalvoja (metalliseoksia), korroosioiden kestäviä kalvoja (PTFE), joita käytetään autolasissa, leikkaustyökaluissa, ilmailualan komponenteissa.

2. Materiaalin puhdistaminen ja modifiointi korkean välein olevien materiaalien erottelun käyttö: Eri höyrynpaineiden eri aineiden käyttö haihdutusveneen lämmityksen kautta harvinaisten maametallien elementtien (kuten nd, dy), jalometallien (AU, PT) puhdistamisen saavuttamiseksi. Pinta -dopingkäsittely: Lisäaineiden (kuten B, N) haihtuminen puolijohdekiekkojen tai akkuelektrodien pinnalla materiaalien sähköisten tai optisten ominaisuuksien parantamiseksi.

Toiseksi tekniset kohdat ja suunnitteluvaatimukset

1. Höyrystymisveneen lämpötilan hallinta ja yhtenäisyys vastuslämmityksellä tai elektronisäteen pommituslämmityksellä on asetettava lämpötila materiaalihöyryn paineen mukaan (kuten AL: n haihdutuslämpötila, noin 1200 astetta, Au noin 1400 astetta).

Veneen rungon suunnittelu (kuten uran syvyys, kallistuskulma) sen varmistamiseksi, että materiaalin haihtuminen lämmitetään tasaisesti, jotta vältetään paikalliset ylikuumenemiset, jotka aiheutuvat roiskumisen tai epäpuhtauden haihtumisen aiheuttamasta.

2. Tyhjiösovitus tyhjiöympäristö (yleensä 10- ³ ~ 10- ⁶ PA) voi vähentää materiaalin kiehumispistettä, parantaa haihtumisnopeutta välttäen hapettumista. Haihtumisveneiden on oltava vakaa suuressa tyhjössä, kuten grafiittiveneen on vältettävä korkean lämpötilan hapettumista (on täytettävä inertillä kaasulla, kuten AR).

3. Kemiallinen yhteensopivuus materiaalien haihtumisen ja venereaktion välttämiseksi: Esimerkiksi Zn: n, S: n sisältävien materiaalien haihduttaminen ei saisi käyttää molybdeenivenettä (helppo muodostaa matala sulamispisteen MOS ₂ johtaa korroosioon); Nitridien haihduttaminen suositeltavana boorinitridiveneessä metalliveneen rungon ja N -elementin reaktion estämiseksi epäpuhtauksien tuottamiseksi.

4. Pitkän aikavälin käytön jälkeen elämä- ja korvausjakso voi johtua materiaalin sulamisen eroosiosta, haihtumisjäämistä tai muodonmuutosvirheestä, säännöllisestä kunnossapidosta (kuten ultraäänipuhdistuksesta) tai korvaamisesta pinnoitteen laadun vakauden varmistamiseksi. Tyypilliset teollisuussovellukset

1. Puolijohde- ja mikroelektroninen siruvalmistus: AL: n haihtuminen, integroitujen piirielektrodien CU -valmiste käyttämällä molybdeenivenettä tai volframivenettä; SIO₂ -eristyskerroksen laskeutuminen voi olla valinnainen grafiittivene tai boorinitridivene (metallin saastumisen välttämiseksi). Voimalaitteet: boorinitridiveneen haihdutus GAN, ALN, korkean elektronien liikkuvuuden transistorin (HEMT) epitaksiaalikerroksen valmistus, jotta vältetään epäpuhtauksien lisääminen metalliveneen rungossa.

2. Optiikka ja näyttötekniikan tarkkuus Optiset komponentit: volframiveneen haihduttaminen AG, peilien valmistus, grafiittiveneen haihdutus Mgf₂, SiI₂ Lähetyksen parantamiskalvon valmistus kalvon yhdenmukaisuuden ja alhaisen vianopeuden varmistamiseksi.

OLED- ja mini-johtamat: boorinitridien veneen haihtuminen orgaanisia valoa säteileviä materiaaleja (kuten IR-kompleksi) tai kvanttipisteitä veneen kehon materiaalien ja reaktiivisten orgaanisten molekyylien välttämiseksi laitteen käyttöikän parantamiseksi.

3. Uusi energiakentän aurinkokennot: molybdeeniveneen haihdutus Ag -elektrodin liette, grafiittiveneen kerrostuminen sinₓ vähentämiskalvo; Kalkogenidiakkuun boorinitridiveneen haihdutusmidiinin lyijyjodi (FAPBI₃) saastumisen estämiseksi vesihöyryllä ja epäpuhtauksilla.

4. Litium-ioniakut: taantaaliveneen haihdutus Li Metal -valmistus kiinteän tilan akkuelektrodien, sen litiumkorroosionkestävyyden käyttö; B-, N-elementtien haihtuminen seostettuna modifioidun piipohjaisen anodin, pyöräilyn suorituskyvyn parantamiseksi.

5. huippuluokan laitteet ja ilmailu- ja ilmailutyökalupinnoite: volframiveneen haihdutus Ti, CR-valmistus TIN, CRN-kovapäällyste, parantaa työkalujen kulumiskestävyyttä; Boorinitridiveneen haihdutus timanttien esiasteen, ilmailulaakereissa käytetyn DLC -kalvon valmistus.

Korkean lämpötilan seoskäsittely: AL: n, Y: n ja muiden elementtien haihtuminen molybdeeniveneellä tyhjiöuunissa antioksidanttipinnoitteiden muodostamiseksi (kuten alumiinioksidipäällyste) aero-moottorin terille.

Shengyang New Material Co., Ltd. on sitoutunut boorinitridien ja boorinitridien jalostettujen tuotteiden tuotantoon ja voi räätälöidä erilaisia ​​boorinitridien eristäviä keraamisia osia asiakkaiden tarpeiden mukaan. Ota tarvittaessa yhteyttä.
Puh: +8618560961205
Sähköposti: sales@zbsyxc.com