Boorinitridin kemiallinen höyryvaihesynteesi

Vuonna 1979 Sokolowski käytti menestyksekkäästi pulssiplasmateknologiaa valmistaakseen kuutio boorinitridikalvoja (CBN) alhaisessa lämpötilassa ja matalassa paineessa. Käytetyt laitteet ovat yksinkertaisia ja prosessi on helppo toteuttaa, joten se on kehitetty nopeasti. Erilaisia höyryn laskeumamenetelmiä on ilmennyt. Perinteisesti se viittaa pääasiassa lämpökemikaalihöyryn laskeumaan. Koelaite koostuu yleensä kuumuutta kestävästä kvartsiputkesta ja lämmityslaitteesta. Alusta voidaan lämmittää lämmitysuunilla (kuumaseinäinen CVD) tai korkeataajuisesti induktiolämmityksellä (kylmäseinäinen CVD). Reaktiokaasu hajoaa korkean lämpötilan substraatin pinnalle, ja samalla tapahtuu kemiallinen reaktio kalvon tallettamiseen. Reaktiokaasu on BCl:n sekakaasu₃tai B₂H.₄ja NH₃.