Boorinitridi-ionisäteen sputterointitekniikka

Käyttämällä hiukkassäteen sputterointikerrostustekniikkaa saadaan kuutioisen boorinitridin ja kuusikulmaisen boorinitridin seos. Vaikka tässä menetelmässä on vähemmän epäpuhtauksia, reaktio-olosuhteita on vaikea hallita, joten tuotteen morfologiaa on vaikea hallita, ja tämän menetelmän tutkimuksella on suuri kehitysmahdollisuus.