Boorinitridihaihdutusveneet vs. Volframi veneet
Nov 20, 2023
Boorinitridihaihdutusveneet vs. volframiveneet: erot ja edut
Höyrystysveneitä käytetään laajalti ohuiden kalvojen ja pinnoitteiden valmistukseen monilla teollisuudenaloilla, kuten elektroniikka-, optiikka- ja autoteollisuudessa. Haihdutusveneissä käytetyistä materiaaleista boorinitridi (BN) ja volframi (W) ovat kaksi suosittua vaihtoehtoa. Tässä ovat BN-haihdutusveneiden erot ja edut perinteisiin W-veneisiin verrattuna.
Ensinnäkin BN:llä on paljon korkeampi lämmönjohtavuus kuin W:llä. Tämä tarkoittaa, että BN-haihdutusveneet voivat siirtää enemmän lämpöä substraattiin pinnoitusprosessin aikana, mikä johtaa nopeampaan ja tasaisempaan pinnoitusnopeuteen. Lisäksi BN on kemiallisesti inertti materiaali, mikä tarkoittaa, että se ei reagoi haihduttavien materiaalien tai tyhjiökammiossa käytettyjen kaasujen kanssa. Tämä vähentää kontaminaatioriskiä ja parantaa ohuiden kalvojen vakautta ja konsistenssia.
Lisäksi BN-haihdutusveneillä on korkeampi sulamispiste kuin W:llä. BN kestää jopa 2800 asteen lämpötiloja, kun taas W sulaa noin 3422 asteessa. Tämä tarkoittaa, että BN-veneitä voidaan käyttää korkean lämpötilan pinnoitusprosesseihin, kuten reaktiiviseen sputterointiin ja plasmatehosteiseen kemialliseen höyrypinnoitusprosesseihin (PECVD), ilman riskiä veneen rikkoutumisesta tai muodonmuutoksesta.
Toinen BN-haihdutusveneiden etu on niiden alhainen höyrynpaine. Tämä tarkoittaa, että BN ei höyrysty saostusprosessin aikana, mikä vähentää ydintymisen mahdollisuutta ja parantaa ohutkalvojen laatua ja puhtautta. Lisäksi BN on myrkytön materiaali, mikä tekee siitä turvallisemman valinnan käytettäväksi tyhjiökammiossa.
Yhteenvetona voidaan todeta, että BN-haihdutusveneillä on useita etuja W-veneisiin verrattuna, mukaan lukien korkeampi lämmönjohtavuus, kemiallinen inertisyys, korkeampi sulamispiste, alhainen höyrynpaine ja myrkyttömyys. Nämä ominaisuudet tekevät BN-veneistä erinomaisen valinnan tehokkaaseen ohutkalvopinnoitukseen erilaisissa teollisissa sovelluksissa.
Shengyang New Material Co., Ltd. on sitoutunut boorinitridin ja boorinitridillä käsiteltyjen tuotteiden tuotantoon ja voi räätälöidä erilaisia boorinitridiä eristäviä keraamisia osia asiakkaiden tarpeiden mukaan. Ota yhteyttä tarvittaessa.
Puh:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp:+8613964302243